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半导体洁净室EHS处理设备
吸附浓缩半导体产业生产过程中,黄光区内光阻涂布等制程工艺挥发的有机物,并输送至后序中央有机排气系统集中处理。避免VOCs在洁净间环境内积聚,有效保障生产员工的职业健康和安全,提高客户制程的产品良率。
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